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（桌面式快速退火爐）

（自立式快速退火爐）

產品介紹

快速退火爐系列產品，采用紅外輻射加熱及冷壁技術，可實現對實驗材料的快速升溫和降溫，同時搭配超高精度的溫度控制系統，可達到極佳的溫場均勻性，對材料的快速熱處理、快速退火、快速熱氧化、快速熱氮化及金屬合金化等研究和生產工作起到重要作用。廣泛應用于高校、科研院所、第三方檢測機構、半導體制造企業等。

應用功能

快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN) ……

基片類型

硅片、碳化硅基片、化合物半導體基片、用于LED的GaN/藍寶石基片、用于太陽能電池的多晶硅基片、石墨和鍍碳化硅的石墨基座、玻璃基片、金屬、聚合物等。

器件類型

光電芯片、射頻芯片、MEMS傳感器芯片、功率器件、CMOS芯片、模擬芯片、分立器件、光伏器件、顯示器件、存儲器芯片、光電子芯片、MEMS芯片的制造等。

應用材料

電子材料、陶瓷與無機材料、金屬材料、復合材料 、功能薄膜材料……

定制化應用(創新實驗)

原位光學觀察、相變測試、原位電學測試、測熱膨脹系數……